央广网宁波12月29日动静（尔子 刘欣莹 通信员 劳超杰）12月29日上昼，由宁波芯丰紧密科技无限公司研收回产的海内首台12英寸全主动超紧密晶圆环切装备正式委托。该装备的成功研制，不但弥补了海内商场的空缺，张开了华夏半导体装备创建新篇章。

　　据悉，该装备采取高度智能化“掌握-自反应”手艺，告竣了对晶圆边沿的微米级超紧密加工，周全兼容8寸及12寸晶圆，可满意最早进的全主动半导体产线及野生智能芯片的研发工艺须要。

　　野生智能（AI）范畴最近几年一飞冲天，对产业界和社会糊口各方面有深切浸染并缔造了庞大的商场须要，同时对AI芯片的机能、功耗和本钱提议更严酷的哀求。三维集成（3D IC）手艺是满意AI须要的焦点手艺之一，代表着半导体创建的成长热门和主要标的目的。该手艺经过将多个芯片笔直重叠在一同，晋升机能、下降功耗和创建本钱。三维重叠手艺对加工工艺和创建装备都提议了新的挑衅，必须对晶圆在微米级告竣超紧密环切加工，去除晶圆边沿部门原料，进而进步芯片良率，靠得住性和不变性。三维集成所触及的种种差别芯片，包罗mainframe、GPU、保存芯片和CIS芯片等多种芯片，在重叠实践中都必需用到环切装备。

　　“环切精度是在深度和宽度都要十分紧密的掌握，它的掌握精度要到达个位数微米级，象征着人类头发丝的非常之一，这个此刻也是咱们公司做的数据，到达了取得国际最早历程度，为咱们的团队感应十分自满。”宁波芯丰紧密科技无限公司总司理万进步前辈报告尔子。

　　最近几年来，芯丰紧密设置了以海内老手、985博士为焦点的手艺研发团队，聚焦三维重叠手艺所需的减薄、环切装备及配套耗材等范畴，加大手艺攻关开元体育官方网 ，前后请求专利70余项，当选“姚江英才”和 “甬江人材”名目。下一步，这款装备将慢慢加入海内头部半导体产线，为华夏半导体创建财产的成长供给强无力的手艺撑持，助力培养更好的“华夏芯”。

　　12月29日上昼，由宁波芯丰紧密科技无限公司研收回产的海内首台12英寸全主动超紧密晶圆环切装备正式委托。该装备的成功研制，不但弥补了海内商场的空缺，张开了华夏半导体装备创建新篇章。